超纯水设备采用预处理、反渗透技术、混床、EDI装置以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
超纯水设备又称做:超纯水器，超纯水机，超纯水仪，超纯水系统，实验室超纯水器等。超纯水机所生产的超纯水电阻率一般应大于10兆欧，10兆欧以上的水才叫超纯水。一般超纯水出水能达到18.25兆欧。
其透水量大，脱盐率高。正常情况下≥98%， 对有机物，胶体、微粒、、病毒、热源等有很高的截留去除作用，能耗小，水利用率高，运行费用低于其它脱盐设备。
工艺流程：
1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 (≥18MΩ.CM)(传统工艺)
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(工艺)
3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(工艺)
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(工艺)
5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线器→精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)以上工艺各有各的优势，你可以根据你自身的情况选购适合你的工艺。随着科学的发展，很多新的工艺已经替代了旧的工艺，反渗透法制取高纯水已经普及，也是为现今的工艺。