小粒径粉尘的扩散作用(布朗运动)明显，风速低了，气流在过滤材料中滞留的时间就长一些，粉尘就有更多的机会撞击障碍物，因此过滤效率就高。经验表明，对于过滤器，风速减少一半，粉尘的透过率会降低近一个数量级(效率数值增加一个9)，风速增加一倍，透过率会增加一个数量级(效率降低一个9)。
经测试分析，无尘室的微污染中80%是工作人员带来的。当工作人员进出无尘室时尘埃有显著增加，洁净度立刻劣化。因此在工作人员进入无尘室前要做好清洁擦拭等防尘动作，且企业也要对工作人员进行培训，并制定相应的章程和制度等。
除了防止微尘进入，无尘室也要设置净化空调系统、水电系统、生产工艺设备等各类设备设施，来确保无尘室内的空气洁净度级别使用符合产品生产工艺的要求。在系统正常运行中，维护也是必不可少的。比如，空气过滤器是否疏通正常、密封垫是否牢固、送风机轴承的运行是否处于正常状态等。每一项都影响了系统的运行，因此不可遗漏。
建造一个合格的电子无尘车间需要考虑多个因素，包括空气过滤、控制粉尘、静电消除、温度和湿度控制以及合适的设备和工作流程。空气过滤：安装的空气过滤系统是建造无尘车间的关键。使用HEPA（颗粒空气）过滤器能够有效地捕捉微小颗粒物，防止灰尘和污染物进入车间。