真空波纹管通常会分为成型真空波纹管和焊接真空波纹管两种,用在高真空系统中的真空波纹管材质,一般选用SUS316型号不锈钢。
制作口径稍微大一点儿的成型真空波纹管,首先将不锈钢板材卷成筒状,接口处焊接。将圆筒插入真空波纹管模具中,通过液压完成成型真空波纹管的制作。
在高真空系统中,连接分子泵和机械泵的真空波纹管,多采用两端为NW 法兰的成型真空波纹管。成型真空波纹管的优点是制作简单、成本低。缺点是伸缩和柔韧性不足。弥补成型真空波纹管不足的是焊接真空波纹管。
焊接真空波纹管是将圆环状的不锈钢薄片,内径和外径交替焊接而成的薄壁褶皱软管。焊接方式为等离子焊,这种真空波纹管有大的伸缩性,是高真空系统的连接和各种运动导入器中不可缺少的部件。合理的选择真空波纹管的自然长度,使用寿命可达数十万次以上。