这类洁净室的洁净等级也有1～9级，气流组织形式有单向流、非单向流、混分流、矢量流，根据车间的情况和生产工艺要求，选用不同的气流组织。其中1～5级气流流型为单向流或混合流，风速0.2～0.45m/s；6级气流流型为非单向流，换气次数50～60次/h；7级气流流型为非单向流，换气次数15～25次/h；8～9级气流流型为非单向流，换气次数10～15次/h。
十万级净化车间标准
十万级净化车间标准一：尘粒大允许数≥微米的粒子数不超过350万个，≥5微米的粒子数不超过2万个。
十万级净化车间标准二：微生物大允许数，浮游菌数不超过500个/m；沉降菌数不超过10个/培养皿。
十万级净化车间标准三：压差。相同洁净等级的洁净室压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa，洁净室与非洁净室之间要≥10Pa（主要是为了保障空气从洁净区流向非洁净区，避免气流倒灌）。
无尘车间是指操控产品(如硅片)所暴露的大气的清洁度和温度湿度，以便产品可以在良好的环境中出产和制造。这个环境空间的设计和制作进程可以称为净化工程。
针对无尘车间净化空调体系的加湿问题，有许多常用的加湿办法，包括喷水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿。这些加湿办法归于等焓加湿进程。
现在无尘车间在航空航天机舱中排高，基本上归于一级，归于面积相对较小的特殊领域。
此外，生化实验室和高精度纳米材料出产车间对等级要求较高。物联网芯片的开展将是未来需求的主要方向。
青岛净化车间还可以考虑空调的要求，如室内温湿度的均匀性均和工作人员的舒适性要求。