在整个集成电子无尘车间中，电路的尺寸技术可以说是促进净化的关键点。电子无尘车间的制备方法越先进，芯片尺寸越小。然而，电子无尘车间电路上的颗粒物粒径小约1%～2%，在电子无尘车间中会成为废品，因为金属及类似是电子无尘车间的废品问题之一。
在整个集成电子无尘车间中，电路的尺寸技术可以说是促进净化的关键点。电子无尘车间的制备方法越先进，芯片尺寸越小。然而，电子无尘车间电路上的颗粒物粒径小约1%～2%，在电子无尘车间中会成为废品，因为金属及类似是电子无尘车间的废品问题之一。
为达到洁净水平，无尘车间的设置需要采取综合措施，包括工艺布置、建筑平面、建筑结构、空气净化措施、维护管理等，其中空气净化措施是达到洁净水平的根本保证。
首先，要选择符合自身需求的无尘车间地面材料。常见的无尘车间地面，分为涂布型地面、粘贴性地面、水磨石地面、金属隔栅通风地面等。涂布型无尘车间地面，按照材料的不同，又分为聚氨酯涂料、环氧树脂和聚酯树脂砂浆。这种无尘车间地面，附着力强，易施工，弹性好，耐水、耐腐蚀。