1、废气预处理，为了避免催化剂床层的堵塞和催化剂中毒，废气在进入床层之前需进行预处理，以除去废气中的粉尘、液滴及催化剂的毒物。
2、预热装置，因为催化剂都有一个催化活性温度，使废气和床层的温度达到起燃温度进行催化燃烧，设置预热装置。但对于排出的废气本身温度较高的场合，不必设置预热装置。预热装置加热后的热气可采用换热器和床层内布管的方式。预热器的热源可采用烟道气或电加热。为保护催化剂，加热装置应与催化燃烧设保持距离。当催化反应开始后，可尽量以回收的反应热来预热废气。在反应热较大的场合，还应设置废热回收装置。预热废气的热源温度一般都超过催化剂的活性温度。
3、预热装置加热后的热气可采用换热器和床层内布管的方式。预热器的热源可采用烟道气或电加热，目前采用电加热较多。当催化反应开始后，可尽量以回收的反应热来预热废气。在反应热较大的场合，还应设置废热回收装置，以节约能源
4、固定床催化反应器。反应器的设计按规范进行，应便于操作，维修方便，便于装卸催化剂。
催化燃烧工艺具体是通过去除废气内的有害物质再通过预热催化来完成处理工作，通过上述方式能够有效降低处理完成产生二次污染的可能性，且能够回收利用处理掉的废气，从而提高收益。