对于要求比较高的无尘车间，还需要做无尘车间地面的防静电处理。通过使用防静电水磨石做面层，再通过铺设静电接地网来达到防静电效果。如果无尘车间地面采用防静电水泥砂浆，那么久需要添加静电接地网来达到防静电功能。一般来说，电子无尘车间对防静电的要求会比较高。
无尘车间空气净化系统分为水平层流、垂直层流和紊流。气流方式的选择参照常规，洁净度主要由单位时间换气次数决定。因此，在确定净化系统的技术参数之前，必须认真考虑无尘车间的工作性质和生产要求。
在整个集成电子无尘车间中，电路的尺寸技术可以说是促进净化的关键点。电子无尘车间的制备方法越先进，芯片尺寸越小。然而，电子无尘车间电路上的颗粒物粒径小约1%～2%，在电子无尘车间中会成为废品，因为金属及类似是电子无尘车间的废品问题之一。
无尘车间工人在防火墙两端2m范围内穿管、穿管、穿隔热层。根据上述需要，在洁净室工程中，经常采用拍卖保温板和复合硅酸盐保温板（防潮层和外保护材料以及与保温材料相匹配的液体泥浆），而阻燃自熄聚苯乙烯保温板不符合消防要求，限制了其应用。这里重要的是，当输送的空气温度低于环境温度时，由于隔热结构内外壁之间的温差而产生水蒸气的分压差。由于分压差的影响，管外空气中的水蒸气随热流渗入保温材料，导致保温结构内凝结，保温材料的保温性能降低，必须在保温层外设置防潮层。当气温高于环境温度时，保温结构一般不设置防潮层。保温材料采用闭孔结构，防止水汽渗入。如防水层为液体泥浆，复合硅酸盐保温板施工后无接缝。防潮效果很好，但是价格很高。