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东莞直线UVM对位平台参数说明
台面尺寸(mm):150X150
底板尺寸(mm):150X150
平台等级:P级/UP级
重复精度(mm):±0.004/±0.002
X/Y轴动作行程(mm):±3
旋转角度:±2°
螺杆外圆/导程(mm):∅006/01
平面度(mm):±0.01
平行度(mm):±0.01
水平动载荷(kg):10
水平静载荷(kg):25
本体材质:合金铝/阳极处理
马达种类:步进28