R116（六氟乙烷，C2F6）可用于一种具多功能的蚀刻技术，常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外，它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。
名称：R116、FC-116
中文名称：六氟乙烷，电子级氟碳，全氟乙烷，氟里昂116
英文全称：hexafluoroethane
化学分子式：CF3CF3、C2F6
分子量:138
标准沸点：-78℃
临界温度:20℃
临界压力：3MPa（绝压）
临界密度：0.613g/cm3
CAS编号：76-16-4
常用冷媒：R22，R134a，R410a，R404a，R407c，R12，R417，R507；
制冷级清洗剂、发泡剂：R123，R141b，R142b，R245fa；
超低温冷媒：R13，R14，R23，R508B；
碳氢制冷剂：R290，R600a，R170，R1270，R50，R1150；
稀有制冷剂：R116，R124，R1234yf，R1234ze，R245cb等；
另提供压缩机配套冷冻油咨询和销售服务：太阳3/4GS，CP-4214-320，冰熊（有利凯玛）RL32/68H；以及以下机组原装冷冻油：出光、约克、开利、特灵、汉钟、复盛、比泽尔等。
【奥博瑞】超低温制冷剂系列R13R14R23R503R508B~
常规制冷剂一般为中温或高温制冷，其温度不会低于-50度。针对特殊要求，
超低温制冷剂则一般可以达到-80度或-80度以下。这类制冷剂低温高压，技术复杂。