三氯氢硅（SiHCl3 ）TCS
化学式SiHCl3中文名称三氯氢硅英文名称TrichlorosilaneCAS No.10025-78-2分子量135.43充装系数250kg；20000kg应用多晶硅、单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。产品规格≥99.95%
百科：
又称硅氯仿，TCS。甲硅烷的三氯代物。为一种易流动的无色液体，密度1.34克/厘米³ ；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。
三氯硅烷在常温常压下为具有刺激性氯化氢气味易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成SiO2．HCl和Cl2。