Uv紫外线光解和等离子技术是现今应用于有机废气降解最常用的两种方法。采用这两种办法，都能将废气中的有机成分，分解为无害的水及二氧化碳，并预防了二次污染。但这两种方法，仍各有优点。由此可见，紫外灯管发射出的185nm紫外线，起到了提供氧化反应物的作用。
而灯管发射出的254nm紫外线，起到了提供光解反应顺利进行的必要反应条件的作用。但紫外灯管的奧氧产生能力较低，如现在使用最为普遍的150WU形奧氧紫外线灯管，在氧气充足的条件下，每小时的臭氧产生量约为900mg左右，即其单位功率每小时的臭氧产生量仅为6mg/w。而臭氧作为光解反应中的一种主要的反应物质，其产量的多少，直接影响着处理效果的好坏。
等离子技术是利用高压的电场，使空气中的〇2电离产生〇3，其臭氧产生效率要比紫外灯管高很多。如三井环保公司生产的60W等离子管，其每小时的奧氧产生量约为6000mg左右，即其单位功率每小时的奧氧产生量为100mg/w。是紫外灯管单位功率臭氧产生量的16倍。但等离子管几乎不发射出紫外线。缺少了紫外线的催化作用，在单纯采用等离子工艺的废气处理装置中，臭氧与有机废气的反应变得缓慢困难，同样制约了设备的处理效能。