产品用途：
本系列产品采用气浮和伺服控制技术，结合本公司自主研发的QMS3D自动测量软件，可实现高效、准确的大批量工件测量，适用于精密零部件的检测和质量控制。在机械、电子、五金、塑胶等行业中都得到了广泛的应用。
特点：
行程大，测量范围更广；
自主开发QMS3D软件，可满足客户不同测量需求；
具有快速自动对焦、自动寻边，强大的编程和自动测量功能；
采用亚像素细分技术，提高边界分辨能力；
配置操纵手柄，亦可软件程控；
SPC数据处理分析，大批量治具测量；
X、Y、Z轴伺服控制，定位精度高速度快，运行平稳；
程控恒流驱动式八区表面冷光光源，可适应复杂的工件测量；
花岗石直线度和玻璃平面度好，花岗石导轨无摩擦、不磨损；
可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，快速定位，方便快捷。
技术规格参数：
参数/ 型号
VMS-0810H
VMS-1012H
VMS-1215H
机
台
结
构
玻璃台尺寸(mm)
1208 × 885
1408×1085
1708 × 1285
X、Y轴运动行程(mm)
800×1000
1000×1200
1200×1500
X、Y轴最大速度(mm/s)
300
Z轴运动行程(mm)
200
外形尺寸(m)
2.17×2.38×1.56
2.37×2.58×1.56
2.57×2.88×1.56
整机重量(kg)
3260
3750
4520
光
学
系
统
光源
表面光源--LED表面环形光源 底光源--LED新型直线光源
光栅尺分辨力
0.5um
X、Y示值误差
(3＋L/200)um
激光平面度测量
重复性3um(选配激光位移器时)