压缩、深冷至液化,利用氧、氮组分的沸点不同,再通过精馏完成氧-氮混合物分离,低沸点组分氮与高沸点组分氧在精馏塔的塔盘进行质、热交换,氮不断地从液相中蒸发出去,同时使氧不断地从气相冷凝到液相,最终实现氧、氮分离。双泵内压缩流程技术原理采用膨胀空气进下塔的模式。 空气中的主要组份是氮和氧，通过选择对氮和氧具有不同吸附选择性的吸附剂，设计适当的工艺过程，使氮和氧分离制得氧气。液氧从主冷抽出,由液氧泵压缩至用户所需的压力,经主换热器复热后进入用户管网。在主换热器中,正流压缩空气与被加压的液氧进行热交换,液氧在汽化、复热的同时,这股高压空气被冷却、液化。正流高压液化空气和经增压膨胀机膨胀降温后的空气一同进入下塔,参与精馏。简单地说,内压缩流程是用液氧泵加上空气增压机取代了外压缩流程的氧压机。
行业分法：偏重使用的参数：冶金型：化工型
代分法：第一代：铝带盘蓄冷器的高低压流程；第二代：铝带盘蓄冷器或石头蓄冷器的全低压流程；第三代：带产品气盘管的石头蓄冷器的全低压流程；第四代：切换板式主换热器的全低压流程；第五代：分子筛吸附、增压透平膨胀机、DCS控制的全低压流程；第六代：规整填料上塔、全精馏制氩的全低压流程；第七代：内压缩流程。
而由于马氏体的最终转变点非常低, 在超低温时由于组织体积收缩, 晶格常数缩细而加强碳原子析出的驱动力, 于是马氏体的基体析出大量超微细碳化物,在同一时间，各个吸附床则分别处于不同的操作步骤，在计算机的控制下定时切换，使几个吸附床协同操作，在时间步伐上则相互错开，使变压吸附装置能够平稳运行，连续获得产品气。 根据解吸方法的不同对于实际的分离过程，还必须考虑空气中的其它微量组份。二氧化碳和水份在通常的吸附剂上的吸附能力一般要比氮和氧都大得多，可在吸附床内填加合适的吸附剂（或利用制氧吸附剂自身）使其被吸附清除。制氧装置所需的吸附塔数目取决于制氧规模、吸附剂性能和工艺设计思路，多塔操作时运行平稳性相对更好一些，但设备投资较高。目前的趋势是：使用高效制氧吸附剂、尽量减少吸附塔数量并采用短操作周期，以提高装置的效率并尽可能节约投资。