母合金掺杂剂
掺杂,又称配料,掺杂的目的主要是用来改变硅熔体中施主杂质(如磷)或受主杂质(如硼)的杂质浓度,使其生长出的单晶电阻率达到规定的要求。所谓“母合金”就是杂质元素与硅的合金。本公司提供以下多种类型母合金:
形状
块状
片状
棒状
掺杂类型
硼
磷
型号
P型
N型
电阻率
0.001-0.006 Ω.CM
确保每段电阻率偏差在0.001或0.0005范围内
浓度
硼含量(atom/cm3)=1.1732E20~1.6184E19
磷含量(atom/cm3)=7.3763E19~9.6552E18
碳含量(atom/cm3)<5E16
氧含量(atom/cm3)<1E18
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